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氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術(shù)分析

  • 發(fā)布日期:2022-11-25      瀏覽次數(shù):813
    • 氮化鋁中加工直孔 (t=450μm)技術(shù)分析

      在Spectronics,我們也專注于直孔加工,以響應(yīng)許多客戶對加工規(guī)格的要求。

      作為皮秒激光微細(xì)加工的靶材,我們成功地在被認(rèn)為比較厚的 450 μm 氮化鋁上鉆了一個幾乎直的孔。

      雖然它仍處于開發(fā)階段的光學(xué)工具,但已被證明對無錐度加工有效。未來,我們希望進(jìn)行驗(yàn)證,以便將其用作生產(chǎn)工具。

      加工驗(yàn)證詳情
      ◇靶材
       :氮化鋁(ALN) 厚度:450μm 顏色:淺棕色
      ◇二手激光振蕩器
       LDH-G0610(532nm/15ps/6W@200kHz)
      ◇加工光學(xué)系統(tǒng)
       原裝光束旋轉(zhuǎn)器和電掃描光學(xué)系統(tǒng)(f = 46mm)
       理論光斑尺寸 Φ12.45μm
      ◇ 調(diào)整照射方式
       相位角,將鉆孔后基材側(cè)的截面設(shè)置為直線狀
      ◇ 結(jié)果
       照射側(cè)孔徑 181.97μm 出射
       側(cè)孔徑 181.25μm
       加工時間 56sec /孔洞
      ◇ 加工后樣圖

       




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