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alnair labs硅片厚度測(cè)量?jī)x的工作原理

  • 發(fā)布日期:2023-04-26      瀏覽次數(shù):648
    • alnair labs硅片厚度測(cè)量?jī)x的工作原理

      隨著近年來(lái)我國(guó)半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,產(chǎn)業(yè)相關(guān)的檢測(cè)需求日益增多。Precitec在半導(dǎo)體檢測(cè)領(lǐng)域深耕多年,在半導(dǎo)體非接觸式在線、離線檢測(cè)方面有多種多樣的應(yīng)用,致力于幫助大家解決行業(yè)痛點(diǎn),特別是高精度、高環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)要求的檢測(cè)問(wèn)題。

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      由于紅外光的波長(zhǎng)相對(duì)于可見(jiàn)光的波長(zhǎng)更長(zhǎng),在半透明體中具有更長(zhǎng)的傳播距離,因此通常被應(yīng)用于半透明薄膜、硅片、藍(lán)寶石的厚度檢測(cè)。特別是在硅片的研磨和拋光的工藝過(guò)程中,硅片的一側(cè)為磨盤(pán),只有單側(cè)可以安裝檢測(cè)設(shè)備,因此該檢測(cè)方式常用于在線檢測(cè)設(shè)備當(dāng)中。

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